| ��̖ | ���a | ��Ʊ���Q | �f�� |
| 1 | SH688072 | ���G�Ƽ�-U | PECVD ϵ�ЮaƷ��ALD ϵ�ЮaƷ��SACVD ϵ�ЮaƷ��HDPCVD ϵ�ЮaƷ��Flowable CVD ϵ�ЮaƷ�����S�����I��ϵ�ЮaƷ |
| 2 | SH688726 | ������˹ | ��Uɢ���הUɢ���������˻��O�䡢�͉����W������e��LPCVD���O�䡢���x���w�������W������e��PECVD���O�䡢ԭ�ӌӳ��e��ALD���O�䡢ԭ�ӌ�߅���g�����e��EPD���O�䡢늳��g϶�NĤ�C�������O�� |